Coventor - проектирование и моделирование MEMS устройств
Американская компания Coventor работает на рынке с 1996 года и предлагает клиентам лучшее в своем классе программное обеспечение для проектирования микроэлектромеханических (MEMS) устройств на базе различных технологических процессов.
MEMS+
Пакет MEMS+ представляет собой специализированный программный продукт, предназначенный для разработки микроэлектромеханических устройств (MEMS) в тесной интеграции с потоком проектирования интегральных микросхем компании Cadence. Основная задача программы — выполнить проектирование и анализ MEMS устройства оригинальными средствами Coventor, после чего сформировать данные для программного обеспечения Cadenсe: библиотеки символов для редактора схем Cadence Virtuoso, списки соединений для мультифизического моделирования с помощью модулей Spectre и UltraSim, а также топологические ячейки P-Cell для редактора топологий микросхем.
CoventorWare
Пакет CoventorWare представляет собой набор инструментов для проектирования MEMS устройств, главными из которых являются модули Designer и AnalyzerTurbo. Программа Designer обеспечивает разработку послойных топологий с поддержкой произвольных углов и кривых линий. Включает параметрический генератор топологий, средства импорта и экспорта файлов топологий других систем проектирования, средства пошаговой эмуляции технологического процесса, базу данных используемых материалов. Программа AnalyzerTurbo представляет собой мощный инструмент моделирования, включающий широкий набор вычислительных модулей ориентированных на анализ мультифизических взаимодействий, встречающихся в MEMS устройствах.
SEMulator3D
Программа SEMulator3D представляет собой специализированный программный продукт для эмуляции технологического процесса и построения виртуальных прототипов MEMS и любых других полупроводниковых устройств, выполненных в виде интегральных схем. Здесь используется оригинальная патентованная технология объемных элементов (voxel technology) и поддерживается обновление масок, изменения в техпроцессе и визуализация очень сложных последовательностей технологических операций. Специальный инструментарий позволяет делать сечения в разных плоскостях и сравнивать их с исходными масками, а также наглядно документировать.
Architect3D
Программа Architect3D представляет собой интегрированную среду проектирования MEMS устройств. Здесь имеется возможность разработки структурных и принципиальных схем с использованием поведенческих моделей электромеханических, оптических, сверхвысокочастотных, микрожидкостных устройств и типовых радиоэлементов, моделирования MEMS устройств и цифровых схем управления с использованием алгоритмов SPICE, а также генерацию двухмерного послойного параметризированного описания топологии системы в формате GDSII.
Универсальная среда проектирования коммерческих MEMS-устройств
Ольга Миллер, Юрий Потапов, ЭК 2003'2
В том, что использование технологии микроэлектромеханических систем (MEMS) в современных электронных системах значительно увеличивает их функциональность, никто не сомневается уже в течение нескольких лет. Используя технологические процессы, почти не отличающиеся от производства кремниевых микросхем, разработчики MEMS-устройств создают миниатюрные механические структуры, которые могут взаимодействовать с окружающей средой и выступать в роли датчиков, передающих воздействие в интегрированную с ними электронную схему. Пожалуй, именно датчики являются наиболее распространенным примером использования MEMS-технологии: они используются в гироскопах, акселерометрах, измерителях давления.
Универсальная среда для проектирования коммерческих MEMS устройств
Юрий Потапов, EDA Expert 2003'4
Компания Coventor выпустила новую версию своего пакета CoventorWare, предназначенного для проектирования MEMS устройств на системном уровне и использующего оригинальную методологию. Данная методология как нельзя лучше подходит для производства коммерческих микроэлектромеханических устройств, так как она изначально учитывает технологию производства, нацелена на достижение требуемой функциональности и обеспечивает многоуровневый подход. Проектирование начинается на системном уровне с использованием параметрических моделей, что позволяет оценить, как MEMS компоненты взаимодействую между собой и окружающей их системой. Параметрические модели имеют шесть степеней свободы и дают возможность разработчикам использовать обычный редактор схем для построения проекта устройства с учетом связей с управляющей электронной схемой.
Программное обеспечение Coventor
Юрий Потапов, EDA Expert 2002'1
Ранее в нашем журнале были опубликованы две статьи, описывающие потенциальные возможности MEMS технологии. Растущий интерес к ней подтверждает то, что на ежегодной конференции по СВЧ технике, проходившей в Лондоне в сентябре 2001, более трети докладов были посвящены именно этой области. Здесь же впервые было представлено коммерческое программное обеспечение компании Coventor, предназначенное для моделирования микроэлектромеханических СВЧ устройств. Основу программного обеспечения составляет интегрированный пакет CoventorWare, обеспечивающий разработчикам два встречный пути проектирования: снизу вверх и сверху вниз. При проектировании сверху вниз сначала строится общая концепция создаваемого устройства и прорисовывается его схема на основе поведенческих моделей подсистем. Затем производится уточнение решения для реализации используемых подсистем, выполняется их оптимизация, после чего по их итогам проводится итерационный цикл уточнения параметров всей системы. Далее производится полное электромагнитное и электромеханическое моделирование разработанной системы, и проект передается на производство для технологической проработки. Среднее время проектирования в этом случае составляет около одной недели на проработку проекта «с нуля» и далее минуты на уточняющие итерации.
Унифицированная платформа для проектирования МЭМС - CoventorMP
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) изготавливаются с использованием технологий, аналогичных интегральным схемам (ИС), и поэтому используют существующую инфраструктуру индустрии полупроводниковой промышленности и экономию за счет масштабирования. Эти крошечные датчики и исполнительные механизмы позволили создать новые функциональные возможности в смартфонах, планшетах и автомобилях и имеют решающее значение для Интернета вещей (IoT). Однако МЭМС связаны со специализированными инженерными проблемами, включая нестандартные процессы изготовления, мультифизические взаимодействия, интеграцию с ИС и требования к индивидуальному корпусированию. Готовые инструменты автоматизация проектирования электронных приборов и устройств (EDA) и механические инструменты системы автоматизации инженерных расчётов (CAE) и систем автоматизированного проектирования (CAD) общего назначения не решают этих проблем должным образом, поэтому разработчики МЭМС традиционно в значительной степени полагались на трудоемкий и дорогостоящий подход сборки и тестирования. Без специализированной платформы для проектирования МЭМС часто требуются годы, чтобы вывести МЭМС-продукт на рынок.